走査プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope : SPM)　“大気SPM”(D3)

走査トンネル顕微鏡(STM), 原子間力顕微鏡(AFM)の両方の測定が可能で、試料や用途に応じて両者を使い分けています。除振にアクティブ除振台を用いています。

• Bruker Nano MultiMode + halcyonic nano20