分析分子線エピタキシー装置 “B室NEDO” (D3)

MBE装置です。清浄化のためのスパッタリング銃、電子ビーム蒸発源(x2)、FTIR、LEED等により表面物性評価が出来ます。モデル電極触媒の作製にも使用します。

  • FT-IR (Bomen MB100)
  • LEED (OCI BDL-400IR)
  • Evaporation source x2 (AVC)
  • Sputter-gun (Omegatoron OMI-0043CKE)

装置模式図

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