超高真空走査トンネル顕微鏡(UHV-STM)　“UHV-STM”　(D3)

超高真空中に備えられた走査トンネル顕微鏡(STM : Scanning Tunneling Microscope)により、固体表面構造を原子レベルで観察できます。分析室には低速化・中性化機能を備えたイオン銃、電子ビーム銃(x2)、LEED/AES、X線光電子分光（X-ray Photoelectron Spectroscopy : XPS)用の静電半球アナライザーとX線銃が装備されており、試料作製、電子線回折による表面構造の観察、光電子分光による電子状態評価、イオン散乱法による材料表面組成の評価がその場ですることができます。