超高真空アークプラズマ装着装置　“アークプラズマ”　(A406)

超高真空中にアークプラズマ蒸発源(x2)が備えられており、両者のシークエンス制御により任意の基板に組成制御した合金ナノ微粒子の作製が可能です。

• Arc-plasma gun x2 (ULVAC ARL300)

装置模式図