小型のMBE装置です。清浄化のためのスパッタリング銃、電子ビーム蒸着源(x2)、RHEED, FTIR, アークプラズマ蒸発源が備え付けられています。
- FT-IR (Bruker Optics Vertex 70)
- RHEED-gun (Vieetech VE052)
- RHEED Image analysis system (K-space KSA400)
- Q-mass x2 (Spectra MONITORR; SRS RGA100)
- LEED-AES (OCI BDL-600IR)
- K-cell x3 (EPI)
- Multi(x3) E-gun (Vieetech)
- Sputter-gun (ULVAC-PHI USG3)
- Ion-source (SPECS IQE 12/38)